Tilkoma og hröð þróun á ofur-háum styrkleika, ofurstuttum púlsleysistækjum hefur veitt áður óþekktum erfiðum líkamlegum aðstæðum og glænýjum tilraunaaðferðum fyrir menn, og hafa orðið nýjustu landamæri alþjóðlegra leysirvísinda og -tækni sem og áherslusvið samkeppninnar. . Púlsþjöppunarrist er kjarnahlutinn í öfgafullu öfgafullu stuttu leysibúnaði og ljósop ristarinnar ákvarðar efri mörk leysirúttaksafls. Innlend og erlend þróun á fíngeislaskönnunarútsetningu, útsetningu fyrir truflunum á truflunum á sviði flutnings, útsetningarsplæsingu og vélrænni ritun og aðrar aðferðir, hafa ekki tvíátta metra-kvarða rist undirbúningsgetu.
Mynd 1 Niðurstöður úr fullri tíðni villu fyrir Φ300mm óáss fleygboga spegilljóssetningarkerfi: (a) Lágtíðni yfirborðsformskekkju utanásspegils mæld með 4-tommu Zygo interferometer. (b) Myndir af miðtíðniskekkju og ljóssviðsdreifingu sem fæst eftir síun í samræmi við líkanið; (c) Hátíðnivilla sem fæst með því að nota Zygo hvítljósasnið með 20x linsu og ljósmynd af ristagrímunni mæld með smásjá. (d) 1D aflrófsþéttleikaferill.
Shanghai Institute of Optical Machinery (SIOM) hefur lagt til nýstárlegt kerfi til að búa til púlsþjöppunarrist í mælikvarða með því að nota endurskinskerfi utan áss með stórum þvermál. Kjarni forritsins er að nota fleygboga spegla utan áss með mikilli nákvæmni til að mynda tvo samsíða ljósgeisla til að búa til einsleitt ljóssvið í stórum skala og einsleitni ljóssviðsins ræðst aðallega af yfirborðsskekkju slökkviliðsins. -ás fleygboga speglar, sérstaklega í miðju og hátíðni villur. Vegna skorts á megindlegu matskerfi á framleiðsluvillum á einsleitni ljóssviðs og tilheyrandi hárnákvæmni vinnsluferli með stöðugri samleitni villna yfir tíðnisviðið, er enn ekkert farsælt fordæmi.
Byggt á frjálsu ljóssviðsdreifingarkenningunni hefur teymið sett upp kortlagningarlíkan á milli tíðnisviðsskekkju á yfirborði endurskins-útsettra fleygbogaspegla utan áss og einsleitni ljóssviðs lýsingar, komið á magnvísiskerfi fyrir tíðnina. bandvilla á yfirborðsformi spegilsins, og settu síðan fram nýstárlega vinnslutækni fyrir einróma samleitni fulltíðnisviðsvillu lýsingarspegilsins. Samkvæmt vísitölumatskerfinu sem ákvarðað er af líkaninu, ættu meðal- og hátíðnivillur lýsingarspegla að vera betri en 0.65 nm og 0.5 nm, í sömu röð, og þess vegna, endurskinskerfi utan áss upp á Φ300 mm var búið til með því að nota ofangreinda vinnslutækni. Í þessu kerfi var RMS spegilsins bælt niður í 0.586 nm og 0.462 nm og reglubundnu skekkjunni og venjulegu röndvillunni var algjörlega eytt. Að lokum tókst að búa til marglaga dilectric film (MLD) dreifingarrist með stærðinni 200 mm×150 mm með því að nota þetta útsetningarkerfi, með meðaldreifingarvirkni upp á 98,1% á -1 stigi og sveiflubylgjusviði PV betri en 0,3 bylgjulengdir.
Þessar rannsóknir til að framleiða stórt ljósbrotsrif eru nýja leið fyrir síðari þróun 100 pat-watta hástyrks leysibúnaðar sem þarf til að púlsþjöppunarristið á metrastigi til að leggja tæknilegan grunn.
Mynd 2 Diffraction bylgjufront og skilvirknidreifing 200mm×150mm MLD rist: (a) -1 stigs diffraction bylgjufront. (b) 0-stig sveigjubylgjusviðs. (c) +1-stigsdreifingarbylgjuhlið. (d) Beygjunýtni MLD ristarinnar við 1740 l/mm, með samræmdri sveifluvirkni innan virka ljósopsins við 1053 nm (Ave=98.1%, σ=0.3%, Max {{ 12}}.6%). (e) Líkamleg mynd af MLD-ristinni með því að nota endurskinslýsingaraðferðina.
