Nýlega hefur Nanjing háskólinn þróað stórfelldan kísilkarbíð (SiC) leysisskurðarbúnað og tækni, sem markar verulega framfarir á sviði þriðju kynslóðar vinnslubúnaðar fyrir hálfleiðara efni í Kína. Þessi tækni leysir ekki aðeins mikið efnistap í hefðbundnum skurðaraðferðum heldur eykur framleiðslu skilvirkni verulega, sem gerir verulegan þátt í þróun kísilkarbíðbúnaðarframleiðslutækni.
Kísilkarbíð (SiC), sem mikilvægt stefnumótandi efni, er mikilvægt fyrir varnaröryggi landsmanna, alþjóðlegan bílaiðnað og orkuiðnaðinn. Nýja tæknin sem þróuð er af Nanjing háskólanum hefur gert verulegar umbætur á sneiðafköstum við kísilkarbíð eins kristal vinnsluferlið. Það getur á áhrifaríkan hátt stjórnað yfirborðssprunguskemmdum skúffunnar og þar með bætt síðari þynningar- og fægjavinnslustigið.
"Hefðbundin fjölvíra skurðartækni hefur mikið efnistap og langa vinnslulotu við vinnslu kísilkarbíðs, sem eykur ekki aðeins framleiðslukostnað heldur takmarkar einnig getu," útskýrði verkefnisstjórinn. Efnisnýtingarhlutfall hefðbundinnar aðferðar í skurðhlekknum er aðeins 50% og efnistap eftir fægja og slípun er allt að 75%.
Til að sigrast á þessum áskorunum tók tækniteymið við Nanjing háskólann upp leysisskurðarbúnað, sem dregur verulega úr efnistapi og bætti framleiðslu skilvirkni. Til dæmis getur 20 mm SiC hleifur framleitt meira en 50 oblátur með því að nota leysisskurðartækni, samanborið við 30 oblátur af 350 míkronum framleiddar með hefðbundinni vírsagartækni. Eftir að hafa fínstillt rúmfræðieiginleika skífunnar er hægt að minnka þykkt einnar skífu niður í 200 míkron, sem gerir einni hleif til að framleiða meira en 80 skífur.
Að auki hefur leysisskurðarbúnaðurinn sem þróaður er af Nanjing háskólanum einnig verulegan kost í skurðartíma. Skurðtími einnar sneiðar 6-tommu hálfeinangrandi/leiðandi kísilkarbíðhleifar fer ekki yfir 15 mínútur og árleg framleiðsla eins tækis getur orðið meira en 30,000 stykki. Tapi á stykki er í raun stjórnað, með tapi á hálfeinangrandi kísilkarbíðhleifi sem er stjórnað innan 30 míkron og leiðandi gerð innan 60 míkron, sem eykur afraksturshlutfallið um meira en 50%.
Hvað varðar horfur á notkun á markaði, mun stórfelldur kísilkarbíð leysir sneiðbúnaður verða kjarnabúnaðurinn til að sneiða 8-tommu kísilkarbíð hleifar í framtíðinni. Sem stendur getur aðeins Japan útvegað slíkan búnað, sem er dýr og settur viðskiptabann á Kína. Innlend eftirspurn fer yfir 1,000 einingar, og búnaðinn sem þróaður er af Nanjing háskólanum er ekki aðeins hægt að nota til að klippa kísilkarbíð hleifa og þynna oblátur heldur einnig til leysirvinnslu á efnum eins og gallíumnítríði, gallíumoxíði og demanti. , sem sýnir víðtækar markaðsumsóknir.
