Undanfarin fimm ár hefur hálfleiðaraframleiðsla á heimsvísu verið nánast samheiti við landfræði steinþrykkjavéla. EUV steinþrykkjakerfi ASML eru orðin eina vegabréfið fyrir háþróaða ferla: sérhvert fyrirtæki sem leitast við að komast inn í hnúta undir 5nm verður að fara í gegnum þessa vélrænu stjörnu -vél sem kostar yfir $300 milljónir og samanstendur af 450.000 hlutum.
Frá Apple til TSMC, Samsung til Intel, nýsköpunarhraði alls iðnaðarins hefur verið takmarkaður óbeint af framleiðslugetu hans og hrynjandi framboðs...
Nýlega afhjúpaði teymi prófessors Kuang Cuifang við National Key Laboratory of Extreme Optical Technology and Instrumentation (Extreme Optical Technology and Instrumentation Research Institute) afrek sitt: „10.000- Channel 3D Nano Laser Direct Writing Lithography System. Þessi bylting veitir nýjan stuðning til að mæta kröfum iðnaðarins um mikla-nákvæmni framleiðslu á stóru svæði í ör-/nanovinnslu.
Sérfræðinganefndin um vísinda- og tækniárangur kínverska sjóntækjafélagsins staðfesti einróma: Þetta verkefni sýnir fram á umtalsverða nýsköpun í kerfisarkitektúr, ljóssviðsstýringaralgrímum og vinnsluaðferðum með mikilli-afköstum, þar sem heildarframmistöðumælingar ná alþjóðlegum leiðandi stigum.
1. Nýsköpun · Að ýta mörkum frá „Single-Stroke Precision“ í „Tíu-Thousand-Stroke Samstilling“
Tveggja-ljóseisartækni með beinni skrifun, með hárri upplausn, lágum hitauppstreymi, grímulausri-möguleika og 3D vinnslumöguleika, hefur lengi verið í fararbroddi í ör/nano framleiðslu. Það finnur víðtæka notkun í flísaframleiðslu, líflæknisfræði, sjóngeymslu, örvökva og nákvæmni skynjun.
Hins vegar, hefðbundin bein-rásar leysirritun stendur frammi fyrir takmörkunum á vinnsluhraða, sem á í erfiðleikum með að mæta kröfum iðnaðarins um mikla-nákvæmni framleiðslu á stóru-svæði.
"Sem stendur notar verslunarbúnaður um allan heim enn aðallega stakan-geisla til að prenta punkt-fyrir- á tvívíddarmynstri eða þrívíddarbyggingum á undirlagsefnum. Við stefnum að því að knýja fram umbreytingarframfarir á öllu sviðinu og tengdum atvinnugreinum með vísindalegri nýsköpun," útskýrði Wen Jisen, rannsóknarmaður í{{6} Optics Technology and Instrument Institute í fullu starfi hjá Extreme Technology and Instrument Institute. Optoelectronics-skóli Zhejiang háskólans og Hangzhou International Science and Technology Innovation Center (STIC) „Tækið okkar með mikla-nákvæmni og mikla-afköst hefur náð samhliða beinni ritun með tugþúsundum leysipunkta í fyrsta skipti, sem markar umtalsverða tæknibyltingu.
Teymi Kuang Cuifang lagði á nýstárlegan hátt til ljóssviðsstýringarkerfi sem sameinar stafræna örspegla með örlinsufylki, sem gerir kleift að búa til yfir 10.000 (137×77) sjálfstýranlega leysipunkta innan kerfisins. Hægt er að fínstilla orku hvers brennipunkts í yfir 169 stig, til að ná raunverulegri fjöl-óháðri stjórn. Tækið virkar á prenthraðanum 2,39×10⁸ voxels/s, með vinnsluhraða og nákvæmni sem nær bæði alþjóðlegum leiðandi stigum.
Samtímis, til að takast á við tæknilegar áskoranir eins og ójafn ljósstyrk og frávik meðal margra brennipunkta, þróaði teymið snjallt alþjóðlegt hagræðingaralgrím. Þetta jók ljósstyrk einsleitni brennivíddsins í yfir 95% en leiðrétti á áhrifaríkan hátt blettaröskun, bætti verulega samræmi og vinnslunákvæmni yfir margar rásir.
Að auki lagði rannsóknarteymið fram margar nýstárlegar vinnsluaðferðir. Þetta afrek er ekki bara „alþjóðlega leiðandi“ viðurkenning heldur truflandi tæknibylting. Það táknar að á smásæja sviði nákvæmnisbyggingar, höfum við loksins færst frá því að nota eina „útsaumsnál“ yfir í að stjórna tímum „tíu þúsund nálar sem sauma saman í takt“.
2. Forysta · Full-keðja Nýsköpun frá landamæravísindum til markaðssetningar
Mikilvægi tækni felst ekki aðeins í því að stækka vísindalegar hæðir heldur í því að brúa bilið milli rannsóknarstofu og iðnvæðingar. Fæðing fjöl-rása 3D nanó-beint-rita lithography kerfisins er dæmi um slíka "end-to-end nýsköpun," sem útvegaði framleiðsluverkfæri sem einu sinni þóttu ólýsanleg fyrir fjölmargar fremstu-iðngreinar.
12-tommu obláta unnin með fjöl-rása 3D nanó-bein-skrifkerfi
Þökk sé nýstárlegri nálgun og könnun teymisins nær tækið vinnslunákvæmni sem nálgast undir-30 nm, vinnsluhraða 42,7 mm²/mín. og hámarksskrifstærð sem nær yfir 12-tommu kísilskífur. Fræðimaðurinn Wu Hanming, yfirvísindamaður á þessu sviði hjá Vísinda- og tækninýsköpunarmiðstöðinni, sagði: "Þessari tækni er gert ráð fyrir að verði fyrst beitt í sérsniðnum, mikilli eftirspurn, litlum lotum vörugeirum og mun leiða framtíðarþróunarstefnu tengdra atvinnugreina."
Í Sci-Tech Innovation Center hefur rannsóknastofnunin stofnað sameiginlega rannsóknarstofu með Hangzhou Yuzhiquan Precision Instruments Co., Ltd. Þetta samstarf beinist að því að takast á við fremstu -vísindalegar áskoranir í innlendri tækni með beinni ritgerð með leysigeisli á sama tíma og efla markaðssetningu há-endanlegrar nýsköpunar í sjóntækjasamþættingu djúprar rannsókna og þróunar í iðnaði.
Eins og er, hefur stofnunin gert bráðabirgðasamninga um tækniflutning við mörg fyrirtæki á sviðum þar á meðal grímuframleiðslu, sjónræna-fölsunarvörn og AR/VR. Verkefnastjóri Kuang Cuifang sagði að þessi búnaður...
