Huawei setur af stað höggbylgjur í iðnaði, leysirframleiðslu til að hjálpa til við þróun flísar

Þann 29. ágúst kastaði Huawei þungri sprengju - Huawei MATE 60 pro, innan við klukkutíma eftir að salan seldist upp. Ástæðan fyrir því að þetta nýja líkan til sölu setti af stað áfallsbylgjur iðnaðarins, aðallega vegna þess að þegar hávinnsluflís Kína við vesturhálsinn, lét Huawei frammistöðu beint „sjokk“ og þessi aðgerð gæti þýtt að Huawei leysti vandamálið. Talandi um hávinnsluflögur, þar sem aðalpersóna EUV steinþrykksins þurfti að koma fram. Hollenska Asmay steinprentunin er sú fullkomnasta sem stendur, sem getur framleitt 5nm hágæða flís, á meðan fullkomlega sjálfstæð steinþrykk Kína andvarpar aðeins 90nm ferli, munurinn getur verið meira en hálf stjarna. Einn af kjarnabúnaði EUV steinþrykks er leysirinn og þýska Trafigura er eini birgir þessa lykilhluta til Asmac. Af hverju er leysirinn svona mikilvægur? Vegna þess að EUV steinþrykk notar mjög útfjólublátt ljós með bylgjulengd 10-14nm sem ljósgjafa. Hér þurfum við að skilja hvaða hlutverki leysirinn gegnir í allri EUV steinþrykkvélinni.
Á upphafsstigi hlutverks EUV steinþrykksins mun fyrsti rafallinn láta tini dropana inn í lofttæmishólfið, á þessum tíma mun frá hraðpúlsandi hástyrk leysirinn gefa meira en 30kW meðalpúlsafl leysigeislans, toppurinn púlsafl getur jafnvel náð nokkrum megavöttum, þannig að það lendir frá hlið tindropans, allt að 50,000 sinnum á sekúndu. Tinatómin eru jónuð og mynda hástyrksplasma sem gefur frá sér EUV geislun á bylgjulengd 13,5 nm í allar áttir. Þetta er kjarninn í EUV steinþrykk, „uppspretta“ hennar. Ferlið þar sem upphafsljósgjafinn slær á tinvökvann skiptist í raun í tvö þrep sem fela í sér tvo lykilpúlsa sem við köllum forpúls og aðalpúls. Svokallaður forpúls, eins og nafnið gefur til kynna, er sá fyrsti sem verkar á fljótandi tini, aðallega til að móta það í æskilegt form fyrir næsta skref. Og þá verkar aðalpúlsinn beint á hann sem breytir honum í plasma. Þetta er gríðarlega krefjandi fyrir geislann sem leysirinn gefur frá sér, sem verður að hafa rétta sjónræna eiginleika til að tryggja að hægt sé að meðhöndla tinvökvann rétt til að framleiða plasma og þar með EUV geislunina. Munu leysir með meiri afl hafa meiri endurbætur til að búa til EUV geislun, eða geta leysir með meiri kraft sleppt annarri tækni og gert heildartæknikröfur framtíðar steinþrykksins hnitmiðaðri? Reyndar hafa snemma kínverskir vísindamenn verið tengdir rannsókninni.
Árið 2021 kláruðu rannsóknarhópur Tang Chuanxiang prófessor Tsinghua háskólans í verkfræðieðlisfræði og þýska rannsóknarteymið nýjan ljósgjafa fyrir agnagaspedali sem kallast „stöðugæða örgeisli“ (SSMB) til að sannreyna meginreglu tilraunarinnar. Það er greint frá því að aðalnotkun leysisbylgjulengdar 1064 nanómetrar til að vinna með rafeindageislann í Berlin MLS geymsluhringnum, þannig að hann um hringinn sé heilan hring (ummál 48 metrar), til að mynda fína örfjölliða geisla. Örþyrpingargeislarnir geisla frá sér samhangandi ljós með þröngri bandbreidd með mikilli styrkleika á leysibylgjulengdinni og hærri harmonikum þess, og tilraunirnar sannreyndu myndun örþyrpingargeislanna með því að rannsaka geislunina og sýndu þannig að hægt er að tengja ljósfasa rafeindanna í hring- með hring með styttri nákvæmni en leysibylgjulengd, sem gerir rafeindunum kleift að festast stöðugt í ljósmöguleikaholunum sem myndast af leysinum og sannreynir þannig virkni SSMB. Þetta felur einnig í sér að framtíðar SSMB-undirstaða EUV ljósgjafa er gert ráð fyrir að ná stærra meðalafli og hugsanlega styttri bylgjulengdum, sem mun hafa mikil áhrif á uppfærslu og notkunarstækkun á EUV steinþræði í framtíðinni.
Þróun EUV steinþrykks þarf að kanna og safnast saman og það ætti aðeins að vera tímaspursmál hvenær ný tækni getur aukið flísaferli EUV steinþrykksins, dregið úr orkunotkun hennar og brotið í gegnum mörkin. Kannski er framtíðin ekki endurtekning á EUV steinþrykk, heldur fæðing nýrrar tækni í stað hennar. Kraftur leysigeisla er endalaus og ég tel að það séu margir fleiri möguleikar sem bíða þess að verða uppgötvaðir.